半導体材料大手のJSRと、米エンテグリス（Entegris）が、次世代の半導体製造に欠かせないEUV（極端紫外線）リソグラフィの分野で、特許を相互に利用し合う契約を結んだと発表しました。AI時代の微細化競争を材料の側から支える動きとして、注目を集めています。
詳細・背景
両社の発表によりますと、契約が公表されたのは2026年5月26日とされています。JSRの子会社であるInpria（インプリア）と、エンテグリスが、「金属酸化物レジスト（MOR）」と呼ばれる材料に関する特許を互いに使えるようにする、非独占的なクロスライセンス契約を結んだということです。あわせて、両社の間で続いていた特許の有効性を争う手続き（IPR2025-00267）を終了させる方針も示されました。
金属酸化物レジストは、EUVリソグラフィでより細かい回路パターンを描くために用いられる感光材料とみられています。Inpriaはこの分野の開発をリードしてきた企業で、JSRは2021年にInpriaを買収したと報じられています。一方のエンテグリスは、材料の前駆体や超高純度のろ過技術などに強みを持つとされ、両社の技術を組み合わせることで、量産での安定供給につなげる狙いがあるとみられています。両社の幹部は、それぞれ今回の協業に期待を示すコメントを発表したということです。
独自見解・考察
今回の契約は、派手なニュースには見えないかもしれません。しかし、スマートフォンやAI向けの半導体がさらに小さく・速くなっていく流れを、目立たない材料の側から支える動きと言えるのではないでしょうか。特許を争うのではなく、互いに使い合う形を選んだ点も、業界全体で微細化を前に進めたいという意図のあらわれかもしれません。日本企業のJSRが、この最先端の領域で存在感を保っている点も、見逃せないところです。
ネットの反応
- 地味だけど、実はめちゃくちゃ重要なニュースな気がする
- JSRってこういう最先端の材料もやってたのか、知らなかった
- 特許で争うより組んだほうが、結局は業界のためになりそう
- EUVって言葉だけで難しそう…でも日本企業が絡んでるのは嬉しい
- 半導体材料は日本の強みだから、ここは踏ん張ってほしい
- 2021年のInpria買収がじわじわ効いてる感じだね
- この技術が安定すれば、いつか製品の値段にも返ってくるのかな
まとめ
JSRと米エンテグリスが、EUVリソグラフィ向けの金属酸化物レジストをめぐって、特許の相互利用と協業に向けた契約を結んだことが明らかになりました。半導体の微細化を支える材料分野での連携として、今後の動向が注目されます。続報が入り次第、お伝えします。
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