バズ 次世代半導体に新展開?ルテニウム配線の寿命評価とは
横浜国立大学などが次世代半導体の「ルテニウム配線」の絶縁寿命を評価したと報じられています。微細化が進む半導体の信頼性設計を支える基礎技術として注目される背景と意義を、わかりやすくまとめました。
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